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ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。 ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在全球范围内获得专li。荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
卤钨灯是一种从可见光到近红外光的常规光源,又称为钨卤灯泡、石英灯泡,是白炽灯的一个变种。原理是在灯泡内注入碘或溴等卤素气体,在高温下,升华的钨丝与卤素进行化学作用,冷却后的钨会重新凝固在钨丝上,形成平衡的循环,避免钨丝过早断裂。 卤钨灯光纤光源 5W
卤钨灯光纤光源 20W是一种从可见光到近红外光的常规光源,又称为钨卤灯泡、石英灯泡,是白炽灯的一个变种。原理是在灯泡内注入碘或溴等卤素气体,在高温下,升华的钨丝与卤素进行化学作用,冷却后的钨会重新凝固在钨丝上,形成平衡的循环,避免钨丝过早断裂。因此卤素灯泡比白炽灯更长寿。具有非常稳定和平滑的光谱,可以应用于光谱测量颜色测量。主要的光谱从300nm到2500nm。
高稳定卤素灯 30W是一个300-2600nm的紧凑型高稳定卤素灯,优化设计使得Z的功率应用于CM和DK系列单色仪,3100°K色温下可工作400小时。