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品牌 | 其他品牌 | 供货周期 | 两周 |
---|---|---|---|
应用领域 | 环保,化工,电子 |
详细介绍
屹持光电提供各种纳米单晶硅衬底2D线性纳米棒,为工业和科研提供低成本的纳米光子学研究。基板可用于光学、生物学、化学、物理学(例如中子散射)、聚合物研究、纳米压印、微流体等各种应用。如果需要,可以用金属或介电涂层涂覆基底。大多数表面特征具有略微梯形的横截面轮廓,具有直平行台面和沟槽。也可以使用格状结构。提供多种特征尺寸和沟槽深度。可以在发货之前拍摄基板的SEM图像以验证确切的轮廓。
表中显示的尺寸代表目标值。周期的精度优于0.5%,而沟槽深度和线和空间的宽度可能与目标值相差15%。SEM用于说明目的。可定制更精确尺寸信息。
描述 | 值 |
基材宽度和高度公差 | 标准公差±0.2 mm |
通光孔径(CA) | 距基板边缘0.5 mm(图案可延伸至基板边缘) |
基材厚度 | 0.675±0.050mm |
CA表面质量 | P / N “-P”:60/40,最高20/10 |
CA表面质量 | P / N “-S” :80/100 |
CA外表面质量 | 无要求 |
材料 | 单晶硅,反应离子蚀刻 |
1、线性纳米棒(线+间隔)
P/N | 周期(nm) | 凹槽深度(nm) | 工作周期1 | 线宽度2(nm | 尺寸3(mm) |
SNS-C72-1212-50-P | 139 | 50 | 50% | 69.5 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C72-2525-50-P | 139 | 50 | 50% | 69.5 | 25×25×0.7 5 |
SNS-C36-1212-110-P | 278 | 110 | 50% | 139 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C24-1212-110-P | 416.6 | 110 | 50% | 208 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C20-0808-150-D45-P | 500 | 150 | 44% | 220 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-350-D45-P | 500 | 350 | 44% | 220 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-150-D60-P | 500 | 150 | 60% | 300 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C20-0808-350-D60-P | 500 | 350 | 60% | 300 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C18-2009-110-D50-P | 555.5 | 110 | 50% | 278 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-140-D50-P | 555.5 | 140 | 50% | 278 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-110-D29-P | 555.5 | 110 | 29% | 158 | 20×9×0.7 |
SNS-C18-2009-140-D29-P | 555.5 | 140 | 29% | 158 | 20×9×0.7 |
SNS-C16.7-0808-150-D45-P | 600 | 150 | 43% | 260 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-350-D45-P | 600 | 350 | 43% | 260 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-150-D55-P | 600 | 150 | 55% | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.7-0808-350-D55-P | 600 | 350 | 55% | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C16.5-2912-190-P | 606 | 190 | 50% | 303 | 29×12×0.7 |
SNS-C16.5-2912-190-S 4 | 606 | 190 | 50% | 303 | 29×12×0.7 |
SNS-C16.5-2924-190-P | 606 | 190 | 50% | 303 | 29×24.2×0.7 5 |
SNS-C14.8-2410-170-P | 675 | 170 | 32% | 218 | 24×10×0.7 |
SNS-C14.8-2430-170-P | 675 | 170 | 32% | 218 | 24×30.4×0.7 5 |
SNS-C14.3-0808-150-D45-P | 700 | 150 | 47% | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-350-D45-P | 700 | 350 | 47% | 330 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-150-D55-P | 700 | 150 | 55% | 375 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C14.3-0808-150-D55-P | 700 | 150 | 55% | 375 | 8×8.3×0.7 |
SNS-C12-1212-200-P | 833.3 | 200 | 50% | 416 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C12-2525-200-P | 833.3 | 200 | 50% | 416 | 25×25×0.7 5 |
SNS-C11.7-1212-200-P | 855 | 200 | 50% | 428 | 12.5×12.5×0.7 |
SNS-C11.7-2525-200-P | 855 | 200 | 50% | 428 | 25×25×0.7 5 |
1 占空比表示线(台面)宽度与周期的比率。
2 表示台面的宽度值。
3 第二维对应于凹槽长度。
4 以“-S”结尾的是“科研”等级。它至少有80%的可用面积。可能存在高达80/100表面质量值。
5 可提供更大的自定义尺寸
P/N | 周期(nm) | 格子类型 | 凹槽深度 | 特征宽度(nm) | 尺寸(mm) |
S2D-24B3-0808-150-P | 700 | 矩形 | 150 | 260 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24B3-0808-350-P | 700 | 矩形 | 350 | 260 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18B3-0808-150-P | 700 | 矩形 | 150 | 350 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18B3-0808-350-P | 700 | 矩形 | 350 | 350 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C2-0808-150-P | 600 | 六角 | 150 | 165 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C2-0808-350-P | 600 | 六角 | 350 | 165 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C2-0808-150-P | 600 | 六角 | 150 | 240 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C2-0808-350-P | 600 | 六角 | 350 | 240 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C3-0808-150-P | 700 | 六角 | 150 | 220 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24C3-0808-350-P | 700 | 六角 | 350 | 220 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C3-0808-150-P | 700 | 六角 | 150 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18C3-0808-350-P | 700 | 六角 | 350 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D2-0808-150-P | 600 | 六角孔 | 150 | 180 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D2-0808-350-P | 600 | 六角孔 | 350 | 180 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18D3-0808-150-P | 700 | 六角孔 | 150 | 200 | 8×8.3×0.7 |
S2D-18D3-0808-350-P | 700 | 六角孔 | 350 | 200 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D3-0808-150-P | 700 | 六角孔 | 150 | 290 | 8×8.3×0.7 |
S2D-24D3-0808-350-P | 700 | 六角孔 | 350 | 290 | 8×8.3×0.7 |
rect post
hex post
hex hole
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